1、シュウ酸溶液の液面がセラミックプレートをちょうど覆うように、10〜15%のシュウ酸溶液を貯蔵タンクに加えます。2、洗浄するセラミックプレートをセラミックプレートごとシュウ酸溶液に垂直に置きます。ノズルを上向きにして液面より上に保ちます